吳德馨:學習王守武先生 獻身中國微電子事業的精神

 

作者:吳德馨,中國科學院院士、半導體器件和集成電路專家

出處:《王守武院士科研活動論著選集》第15-16頁,科學出版社199911月出版

 

  王守武先生自1950年回國后致力于我國半導體器件和集成電路事業40余年,我國微電子學研究與開發的各個歷程無不留下他的足跡,他為我國半導體事業作出了卓越的貢獻。 

  他是我國半導體微電子和光電子科技事業的奠基人之一。他親手研制成功了我國第一個鍺合金管,全功能4K16KDRAM等。他在國內最早積極倡導建立超凈實驗室,并率先在中國科學院半導體研究所自主建立了一條超凈線。他最早提出研究和提高LSI成品率問題,并在半導體所以4KMOS動態隨機存儲器成品率的提高作出了示范。他十分重視半導體設備的研究,親自指導設計了光刻機和電子束曝光機,并積極開展了電子束、X射線曝光、干法顯影、離子束改性等基礎工藝的預先研究。他多次呼吁在引進消化外國技術的基礎上加強自主的研究與開發,以形成植根于中國的1C產業。他號召有應用價值的科研成果一定要轉化成為產業,并努力將4K16K DRAM成果從研究所推廣到工廠。他十分注意創新工作,對新的思想和新的工藝他都給予熱情的支持。他愛護、關心和積極培養中、青年科技隊伍的成長,大膽放手讓中、青年人挑重擔,并給予誠摯的指導和幫助。他那學識淵博、堅韌不拔、實事求是、嚴肅認真、言傳身教、一絲不茍的優秀品質,永遠是我們學習的榜樣。

 

  1978年鄧小平同志接見出席全國科學規劃會議的全體代表時,要求大規模集成電路盡快趕上世界先進水平。此后在中國科學院半導體研究所掀起了攻克“4KMOS動態隨機存儲器”難關的高潮。我有幸能在王守武先生的直接領導下參與這項光榮任務,聆聽他的教誨。從他的言行所學到的東西使我受益終生。作為項目負責人,他從一開始就提出了“不僅要研制成功樣品,還要有一定的成品率”。當時我國LSI的成品率處于1-3%的低水平局面,他要求一定要打破這個僵局。他分析了成品率低下的種種原因,以嚴謹的科學作風解決了一個個影響成品率的問題。近百道工藝要穩定,工藝設備、材料、試劑、氣體、凈化環境等條件必須穩定。為此他親自指導對化學試劑進行提純,將擴散爐安裝成雙重保險,并24小時運行,以保證爐子的穩定和清潔。為了克服繼電器由于打火、簧片氧化造成接觸不良等問題,他親自在簧片上涂焊上白金,使之長期穩定工作.這樣的例子不勝枚舉。就這樣,盡管當時用的全部是國產設備、材料、試劑,自主研究開發的電路設計和工藝技術,連續十批投片達到了平均28%的好成績,并將該成果轉移到上海元件五廠。隨后用一年的時間又研究成功16KDRAM,并繼續將該成果轉移到上海元件五廠。在這一年多的時間里,在他的帶領下不但超額完成了任務而且培養了一支作風嚴謹,訓練有素,能夠攻堅的科技隊伍。由此他獲得了全國勞動模范的光榮稱號。 

  王守武先生自從中國科學院微電子中心成立以來,一直擔任微電子中心名譽主任,從中心的大政方針、課題的研究方案,技術路線到設備調試,他都提出獨到的見解,他以對微電子中心高度的責任感和無限的深情關懷著中心的一草一木。  

  王先生實事求是、嚴謹的科學態度和對微電子事業高度的責任感貫穿在他的一言一行中。例如,為了中心超凈廠房的恒溫恒濕條件,保證大規模集成電路的成品率,他堅持要將送入超凈室的空氣先冷凝到5℃去濕,然后再加熱至22℃送入室內。因此先要致冷后再燒鍋爐加熱,微電子中心當時的一些領導人認為浪費能源,但是王先生要求我堅決按科學規律辦事。因此自1988年開始微電子中心凈化廠房一直保持了恒溫恒濕的優良生產條件,使開發線不斷有新產品出現,成品率逐年增高、效益也與日俱增。 

  王先生主張對每一臺舊設備都要挖掘潛力發揮其最大的效能.中心有一臺陳舊的硅片減薄機,因加工方式落后經常碎片,王先生知道后到車間親自操作,找出了碎片的原因并提出了解決方案,使這臺舊機器至今仍處于良好的工作狀態。 

  王先生雖已年近花甲,但思想仍十分先進,從不保守。早在1978年半導體所的超凈線領導機構重新改組,由王先生掛帥,盡管當時尚沒有改革的大環境,但他克服了重重阻力,實施“層層點將,優化上崗,富余人員下崗”等改革措施,取得了良好的效果。他十分重視培養年輕科技骨干隊伍,要求給青年人以展示才能的舞臺,為此他多次找朱亞江同志談話作思想工作,動員他承擔設計室主任的重擔,并在各種場合支持青年人的創新思想和改革行動??傊?,在我擔任微電子中心領導職務期間,王先生的言傳身教給了我極大的支持和鼓勵。我的各種思想活動也只有向王先生傾訴,他對我的每一次諄諄教導就像一股股暖流,使我有了必勝的信心,在最困難的時候感覺有了依靠。他在出國探親期間仍來函對工作提出中懇的意見。王先生以他強烈的愛國熱忱、淵博的知識、求實的學風、坦蕩的胸懷和對我國微電子事業的無限深情,成為我們中、青年知識分子的楷模,永遠是我們學習的榜樣。  

  王守武先生現在仍孜孜不倦地學習新的科技知識,他親自改裝和修理計算機、攝像機和直流電源等,他親自編寫計算機源程序,他對計算機的熟悉程度受到大家的贊賞,中年知識分子紛紛向他求教。他擁護黨中央的改革開放主張,并身體力行,貫徹到中國科學院微電子中心的各項日常工作中去。他時常被邀請向青年們作報告,每一個報告都是一次生動的愛國主義教育, 他用自己的親身經歷和感受鼓勵中青科技人員投身到我國微電子事業中。在他的教誨下一批批中青年技術和管理骨干成長起來。中國科學院微電子中心多年來所獲得的各項成績,都凝聚著王守武先生的心血。他對我國微電子事業所做出的豐功偉績像他設計的微電子中心大樓一樣永遠屹立在人們心中。 

誦讀人:微電子所 感知中心黨支部書記、副主任 王曉琴

  • 編輯人:
  • 審稿人:
  • 下一篇:錢三強:神秘而誘人的路程
    亚洲熟女AV综合一区二区三区_亚洲熟年夫妇の密着浓厚交尾_亚洲熟妇综合在线播放
    <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>|